Transmission electron microscopy of silicon VLSI circuits and structures
Livre Ecrit par: Marcus, R. B. ; Sheng, T. T. ; Publié en: 1983
Edition:
New York:
Wiley
Langue:
Anglais
Collation:
217 p.
;29 cm
ISBN: 0471092517
Index décimal
621.381 .Électronique appliquée (microélectronique)